WF6 se v elektronski industriji uporablja predvsem kot surovina za postopek kemičnega nanašanja iz pare (CVD) kovinskega volframa. WSi2, izdelan iz WF6, se lahko uporablja kot material za ožičenje v velikih integriranih vezjih (LSI), lahko pa se uporablja tudi kot surovina za polprevodniške elektrode, fluor in kot surovina za kemična sredstva, polimerizacijske katalizatorje, optične materiale itd.